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LL10-HS/DS 熱式氣體質量流量控制器

LL10-HS/DS 熱式氣體質量流量控制器

概述:
       質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精 密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝 設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔 煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
       LL10-HS/DS 系列流量計使用一個帶背光的點陣液晶顯示器,直觀清晰的顯示出多種 有用的流量數據,包括:瞬時流量、累計流量和溫度等。LL10-HS/DS 具有不同的顯示畫面,它取決于訂貨的型號,如流量計或控制器、電流輸出或電壓輸出等。整個 LL10-HS/DS 系列具有統一的主顯示畫面、氣體選擇畫面(特定氣體時本畫面可能無效)、校準畫面、設備信息等。

 
工作原理:
       LL10-HS/DS 系列氣體質量流量控制器傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度 及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值,然后測 量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的 原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金 RTD 絲纏繞在堅固 的陶瓷芯軸上,整個傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內。

技術指標:
1 量程范圍 (0~500,1000,1500,2000,2500,3000...)SLM
2 準 確 度 ±0.5%F.S/±1.0%F.S
3 線    性 ±0.5%F.S
4 重復精度 ±0.2%F.S
5 響應時間 電特性:1sec 氣特性:(1~4)sec
6 工作壓差 0.02~1.0Mpa
7 耐    壓 3Mpa,10Mpa
8 工作環境溫度 0~50℃
9 數 字 量 RS485/232 MODBUS 協議
10 模 擬 量 DC 0~5V ,1~5V,4~20mA 可選
11 供    電 DC ±15V/24V 可選,電源功率≥20W
12 電氣連接 DB15 針
13 漏    率 1×10-9SCCSHe
14 底座材質 316L 不銹鋼
15 密封材質 氟橡膠,聚四氟乙烯,丁晴橡膠
16 氣路接頭 3/4〞,Φ20,Φ25,法蘭連接

注意:
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N?)標定。
質量流量的單位規定為:SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)。
標準狀態規定為:
溫度-----298.15K (25℃);
氣壓-----101325 Pa (760mmHg)
F. S (Full Scale); 滿量程值
 
一般異常情況判斷和處理:
現象 可能原因 處理方法
開機后無氣體流過 氣源未開, 氣路不通 接通氣源, 開通氣路
沒有設定目標流量 參照操作詳解 3.3.1
過濾器堵塞 換過濾器
調節閥故障 檢查閥線圈是否斷開,清洗調節閥
電路故障 維修電路
零點偏差 參照操作詳解 3.3.6
流量控制不穩定 傳感器故障 換傳感器
電路故障 維修電路
閥門污染 清洗閥門,換密封件
氣源壓強太低或不穩 提高氣源氣壓,穩定氣源壓強
在 閥 門 關 閉 的 情 況 ,仍有較大的流量 流過 調節閥故障 重新調整調節閥
入口氣壓過高 降低入口氣壓
通道堵塞 清洗 MFC 通道
流量顯示不能達到滿量程值 設定目標流量低于滿量程 檢查設定值
其它電路故障 維修電路
不通氣時零點不穩定 電路故障 維修電路
傳感器故障 換傳感器
 


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