LL-HS-DS 熱式氣體質量流量控制器
一、產品簡介：
質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精 密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、 環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝 設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔 煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
二、主要技術指標：
| 1 | 量程范圍 | （0～500,1000,1500,2000,2500,3000...）SLM |
| 2 | 準 確 度 | ±0.5%F.S/±1.0%F.S |
| 3 | 線 性 | ±0.5%F.S |
| 4 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
| 5 | 響應時間 | 電特性：1sec 氣特性：（1～4）sec |
| 6 | 工作壓差 | 0.02～1.0Mpa |
| 7 | 耐 壓 | 3Mpa,10Mpa |
| 8 | 工作環境溫度 | 0～50℃ |
| 9 | 數 字 量 | RS485/232 MODBUS 協議 |
| 10 | 模 擬 量 | DC 0～5V ，1～5V，4～20mA 可選 |
| 11 | 供 電 | DC ±15V/24V 可選，電源功率≥20W |
| 12 | 電氣連接 | DB15 針 |
| 13 | 漏 率 | 1×10-9SCCSHe |
| 14 | 底座材質 | 316L 不銹鋼 |
| 15 | 密封材質 | 氟橡膠，聚四氟乙烯，丁晴橡膠 |
| 16 | 氣路接頭 | 3/4〞，φ20，φ25，法蘭連接 |
注意：
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N?)標定。
質量流量的單位規定為:SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)。
標準狀態規定為：
溫度-----298.15K (25℃);
氣壓-----101325 Pa （760mmHg）
F. S (Full Scale); 滿量程值
三、工作原理：
LL-HS/DS 系列氣體質量流量控制器卓越的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的 傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度 及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測 量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的 原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金 RTD 絲纏繞在堅固 的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內。
四、一般異常情況判斷和處理：
| 現象 | 可能原因 | 處理方法 |
| 開機后無氣體流過 | 氣源未開, 氣路不通 | 接通氣源， 開通氣路 |
| 沒有設定目標流量 | 參照操作詳解 3.3.1 | |
| 過濾器堵塞 | 更換過濾器 | |
| 調節閥故障 | 檢查閥線圈是否斷開，清洗調節閥 | |
| 電路故障 | 維修電路 | |
| 零點偏差 | 參照操作詳解 3.3.6 | |
| 流量控制不穩定 | 傳感器故障 | 更換傳感器 |
| 電路故障 | 維修電路 | |
| 閥門污染 | 清洗閥門，更換密封件 | |
| 氣源壓強太低或不穩 | 提高氣源氣壓，穩定氣源壓強 | |
| 在 閥 門 關 閉 的 情 況下，仍有較大的流量流過 | 調節閥故障 | 重新調整調節閥 |
| 入口氣壓過高 | 降低入口氣壓 | |
| 通道堵塞 | 清洗 MFC 通道 | |
| 流量顯示不能達到滿量程值 | 設定目標流量低于滿量程 | 檢查設定值 |
| 其它電路故障 | 維修電路 | |
| 不通氣時零點不穩定 | 電路故障 | 維修電路 |
| 傳感器故障 | 更換傳感器 |
